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 はじめに

■研究室の紹介
 永津研究室では主にプラズマ科学に関する研究を実施し、最近は産学連携の取り組みにも力を注いでいます。平成16年度より21世紀COEプログラム「ナノビジョンサイエンスの拠点創成」の事業推進担当者の一人としてプラズマを用いたカーボンナノチューブを用いた電子源の研究を行っています。また、経済産業省地域新生コンソーシアムの採択を受け、平成16〜17年度に医療器具用プラズマ滅菌装置の開発を実施しました。
 最近の活動は、"News & Topics"をご覧ください。



■研究テーマ

 プラズマテクノロジーを用いた大容量マイクロ波プラズマ装置の開発
 プラズマナノテクノロジーを駆使したカーボンナノチューブの微細化技術とナノサイズ電子源の開発
 マイクロ波プラズマを用いた医療用低温滅菌技術の開発
 大気圧放電プラズマを用いた表面処理技術の開発
 プラズマCVDを用いたナノ結晶ダイヤモンド薄膜の合成
 高分子材料表面のプラズマ化学修飾による新機能性発現
 レーザーアブレーション法を用いたナノ磁性体材料の開発

■主要実験装置

各種プラズマ生成装置をはじめ、カーボンナノチューブ合成用装置、YAGレーザー、電子ビーム蒸着装置、RFスパッタ装置、大気圧放電装置、滅菌関連機器、各種測定器など。


滅菌実験用マイクロ波プラズマ装置
(総合研究棟6階)

口径40cmマイクロ波プラズマ装置
(総合研究棟6階)

口径60cmマイクロ波プラズマ装置
(電気電子棟113室→総合棟→117室へ移設)

マイクロ波プラズマ滅菌機のプロトタイプ
(電気電子棟117室)

915MHz大面積マイクロ波プラズマ装置
(電気電子棟117階)
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