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 研究内容

■プロセシングプラズマの診断・計測・モニタリング

 プラズマプロセス用大面積プラズマ装置の開発
 マイクロ波ランチャーにおける電磁界分布の解析
 2台対向型内挿型平板状マイクロ波ランチャーを用いた大容積マイクロ波プラズマ装置の放電特性
 空洞共振器型ランチャー有する915MHz UHF波励起大面積表面波プラズマ装置の開発

■プラズマの環境応用・バイオアプリケーション

 マイクロ波プラズマを用いた高速低温滅菌技術の開発
 表面波励起酸素プラズマによる芽胞形成菌不活化における表面エッチングの効果
 大気圧放電プラズマを用いた細管内滅菌技術の開発
 新規医療材料開発のための生体高分子の低温プラズマ処理
 Anti-Bacteria Property of Hydrogen-Free Carbon Films Grown with Microwave Plasma at Low Temperature

■大気圧プラズマの生成と応用

 予備電離方式を用いた多孔型マイクロホローカソード放電の生成
 大気圧放電プラズマを用いた細管内滅菌技術の開発
 キャピラリー大気圧プラズマジェットを用いた微細表面プロセスへの応用
 大気圧RFプラズマジェットを用いた薄膜堆積

■ナノテクノロジー(ナノ粒子、ナノカーボン材料とその応用)

 プラズマCVDを用いたナノ構造材料創製とナノ電子源への応用
 プラズマCVD法によるカーボンナノチューブエミッタの作製
 カーボンナノチューブを用いたナノサイズ電極の作製とその応用
 Ni-Cナノクラスター触媒を用いたカーボンナノ材料の低温合成
 Modification of Graphite Encapsulated Magnetic Nanoparticles by Radio Frequency Inductively Coupled Plasma for Biomedical Application
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